GB 51122-2015《集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范》
住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告
現(xiàn)批準(zhǔn)《集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 51122-2015，自2016年5月1日起實(shí)施。其中，第5.3.1條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。
中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
2015年8月27日
前言
本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2012年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃>的通知》(建標(biāo)[2012]5號(hào))的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站和信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。
本規(guī)范編制過程中，編制組經(jīng)過廣泛調(diào)查研究，認(rèn)真總結(jié)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)并參考國(guó)內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，廣泛吸取了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位和專家的意見，并反復(fù)修改，經(jīng)審杏定稿。
本規(guī)范共分10章和1個(gè)附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語、工藝設(shè)計(jì)、廠址選擇及布局、建筑與結(jié)構(gòu)、給排水與消防、電氣、凈化空調(diào)及工藝排風(fēng)、純水與廢水處理、氣體與真空等。
本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。執(zhí)行過程中如有意見或建議請(qǐng)寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司《集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址：四川省成都市雙林路251號(hào)，郵政編碼：610021，傳真：028-84333172)。
本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：
主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站
信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司
參編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院
江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司
無錫華潤(rùn)微電子有限公司
主要起草人：王毅勃 江元升 李驥 肖勁戈 黃華敬 王春 夏雙兵 車俊 朱琳 周向榮 肖紅梅 黃一義 宋祝寧 王明云 閆詩源
主要審查人：陳霖新 王開源 鄭秉孝 張人茂 童大江 陳光鴻 李建強(qiáng) 薛長(zhǎng)立 何為
1 總 則
1.0.1 為規(guī)范集成電路封裝測(cè)試廠的工程設(shè)計(jì)，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、節(jié)能環(huán)保，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、改建和擴(kuò)建的集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)。
1.0.3 集成電路封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
2 術(shù) 語
2.0.1 晶圓 wafer
經(jīng)過集成電路前工序加工后，形成了電路管芯的硅或其他化合物半導(dǎo)體的圓形單晶片。
2.0.2 中測(cè) chip testing
對(duì)完成前工序工藝的晶圓進(jìn)行器件標(biāo)準(zhǔn)和功能性電學(xué)測(cè)試。
2.0.3 磨片 wafer grinding
通過磨輪磨削等手段對(duì)晶圓背面減薄，以滿足劃片加工的厚度要求。
2.0.4 劃片 wafer saw
將減薄后的晶圓切割成獨(dú)立的芯片。
2.0.5 粘片 die bond
將切割好的芯片置放到引線框架或封裝襯底或基座條帶上。
2.0.6 焊線 wire bond
芯片上的引線孔通過金線或銅線等與框架襯底上的引腳連接，使芯片電路能與外部電路連通。
2.0.7 塑封 molding
環(huán)氧樹脂經(jīng)模注、灌封、壓入等工序?qū)⑿酒?、框架或基板、電極引線等封為一體。
2.0.8 電鍍 plating
在框架引腳上形成保護(hù)性鍍層，以增強(qiáng)可焊性。
2.0.9 成品測(cè)試 testing
對(duì)包封后的集成電路產(chǎn)品分選測(cè)試的過程。
2.0.10 晶圓級(jí)封裝 wafer level packaging
在完整晶圓上完成包括成品測(cè)試在內(nèi)的各道工藝，最后切割成單個(gè)電路的封裝形式。
2.0.11 通孔 through silicon via
采用深層等離子刻蝕、激光加工或濕法刻蝕等方式在芯片和芯片之間、潔凈廠房，凈化工程，無塵車間晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通。
2.0.12 凸塊 bumping
采用金、鉛錫或銅等材料利用薄膜或化學(xué)鍍工藝制成倒裝芯片電路的接觸點(diǎn)。
3 工藝設(shè)計(jì)
3.1 一般規(guī)定
3.1.1 生產(chǎn)環(huán)境宜符合表3.1.1的要求。
表3.1.1 生產(chǎn)環(huán)境需求表
3.1.2 生產(chǎn)過程所使用純水的電阻率應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 用于硅片清洗的純水電阻率不宜低于15MΩ·cm;
2 用于硅片劃片的純水電阻率宜在0.5MΩ·cm～1MΩ·cm范圍內(nèi);
3 用于電鍍工藝的純水電阻率不宜低于2MΩ·cm。
3.1.3 生產(chǎn)過程所使用氣體的品質(zhì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 用于通孔、凸塊工序的氣體純度不宜低于99.9999%、露點(diǎn)不宜低于—60℃;
2 用于中測(cè)、磨片、劃片、粘片、焊線、塑封等工序的氣體純度宜在99.99%～99.9999%范圍內(nèi)、露點(diǎn)宜在—40℃～—60℃范圍內(nèi)。
3.2 技術(shù)設(shè)備
3.2.1 工藝技術(shù)應(yīng)根據(jù)芯片互聯(lián)及封裝的類型確定，并應(yīng)具有擴(kuò)展的靈活性。
3.2.2 工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確技術(shù)設(shè)備的各種工藝條件，做到投資省、運(yùn)行費(fèi)用低。
3.2.3 生產(chǎn)設(shè)備的選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 設(shè)備選擇應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品類型及產(chǎn)能要求確定各工序設(shè)備數(shù)量;
2 生產(chǎn)設(shè)備自動(dòng)化程度應(yīng)適應(yīng)產(chǎn)能的要求;
3 生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)適應(yīng)連續(xù)運(yùn)行的要求。
3.3 工藝布局
3.3.1 工藝布局應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)按照工藝流程順序布置，避免交叉;
2 輔助設(shè)施應(yīng)靠近生產(chǎn)區(qū);
3 物流人流應(yīng)分開設(shè)置。
3.3.2 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的設(shè)備和物料出入口，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間并應(yīng)配置相應(yīng)的物料凈化設(shè)施。
3.3.3 生產(chǎn)區(qū)凈高應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備及安裝確定。
3.3.4 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)宜設(shè)置原材料、成品及設(shè)備備品備件暫存區(qū)域。
3.3.5 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置單獨(dú)人員出入口，人員進(jìn)入7級(jí)以上凈化區(qū)應(yīng)經(jīng)過風(fēng)淋室系統(tǒng)。
3.3.6 生產(chǎn)區(qū)操作人員走道寬度應(yīng)根據(jù)設(shè)備操作、人員通行及材料搬運(yùn)需要確定。
3.3.7 生產(chǎn)潔凈區(qū)宜設(shè)置參觀走道。
4 廠址選擇及布局
4.1 廠址選擇
4.1.1 廠址選擇應(yīng)符合國(guó)家及地方總體規(guī)劃要求，宜選擇在遠(yuǎn)離散發(fā)大量粉塵、有嚴(yán)重空氣污染的區(qū)域。
4.1.2 廠址選擇應(yīng)考慮市政給排水、動(dòng)力供應(yīng)、通信設(shè)施完善和交通便利等因素。
4.2 總平面布局
4.2.1 廠區(qū)總平面布局應(yīng)適應(yīng)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及技術(shù)升級(jí)。
4.2.2 廠區(qū)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求確定，宜按辦公、生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、動(dòng)力功能進(jìn)行布局。
4.2.3 廠區(qū)人流、物流出入口宜分開設(shè)置。
4.2.4 廠區(qū)車輛停放場(chǎng)地應(yīng)根據(jù)物流、人員數(shù)量及當(dāng)?shù)亟煌顩r構(gòu)成特點(diǎn)確定。
4.2.5 生產(chǎn)廠房宜設(shè)環(huán)形消防通道或沿廠房長(zhǎng)邊的兩側(cè)設(shè)消防通道。
4.2.6 廠區(qū)道路路面應(yīng)采用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.2.7 廠區(qū)內(nèi)綠化宜采用無飛絮的常綠樹種和草皮。
5 建筑與結(jié)構(gòu)
5.1 建 筑
5.1.1 生產(chǎn)廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)滿足產(chǎn)品工藝要求，并應(yīng)適應(yīng)工廠發(fā)展及技術(shù)升級(jí)。
5.1.2 生產(chǎn)廠房外圍構(gòu)造應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)氣密、保溫、隔熱、防潮、易清洗的要求。
5.1.3 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置設(shè)備運(yùn)輸安裝通道，并宜設(shè)置貨梯、吊裝口及吊裝平臺(tái)。
5.1.4 生產(chǎn)廠房外窗宜采用節(jié)能型窗。
5.1.5 生產(chǎn)廠房電鍍區(qū)地面應(yīng)進(jìn)行防腐處理。
5.1.6 裝修和密封材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472和《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。
5.1.7 裝修材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房，凈化工程，無塵車間《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T 8627的有關(guān)規(guī)定。
5.2 結(jié) 構(gòu)
5.2.1 生產(chǎn)廠房應(yīng)根據(jù)抗震設(shè)防類別及地震烈度等級(jí)進(jìn)行抗震設(shè)計(jì)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑工程抗震設(shè)防分類標(biāo)準(zhǔn)》GB 50223的有關(guān)規(guī)定。
5.2.2 生產(chǎn)廠房的主體結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，宜采用大跨度鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)、鋼結(jié)構(gòu)或兩種結(jié)構(gòu)的組合。
5.2.3 生產(chǎn)廠房柱網(wǎng)尺寸宜采用600mm的模數(shù)。
5.2.4 生產(chǎn)廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)。
5.2.5 生產(chǎn)廠房為無縫超長(zhǎng)混凝土結(jié)構(gòu)時(shí)，應(yīng)采取防開裂設(shè)計(jì)措施。
5.2.6 生產(chǎn)廠房當(dāng)有微振控制要求時(shí)，應(yīng)采取相應(yīng)防微振措施。
5.3 防火與疏散
5.3.1 生產(chǎn)廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
5.3.2 生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)為丙類，防火分區(qū)的劃分應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。
5.3.3 每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 安全出口數(shù)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定;
2 安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;
3 安全疏散距離可根據(jù)生產(chǎn)工藝確定，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。
6 給排水與消防
6.1 給 排 水
6.1.1 給排水系統(tǒng)應(yīng)滿足生產(chǎn)、生活、消防以及環(huán)保等要求，并應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水壓、水溫的要求分別設(shè)置。
6.1.2 生產(chǎn)和生活給水系統(tǒng)宜利用市政給水管網(wǎng)的水壓直接供水。
6.1.3 當(dāng)市政給水管網(wǎng)水壓、水量不能滿足要求時(shí)，生產(chǎn)、生活給水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置貯水裝置和加壓裝置。并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 貯水裝置不得影響水質(zhì);
2 加壓裝置宜采用變頻調(diào)速設(shè)備;
3 加壓裝置應(yīng)設(shè)置備用泵，備用泵供水能力不應(yīng)小于供水泵中最大一臺(tái)的供水能力。
6.1.4 潔凈區(qū)內(nèi)工藝設(shè)備的生產(chǎn)排水宜采用直接接管排水，當(dāng)設(shè)置事故地漏時(shí)，應(yīng)采取氣密措施。
6.1.5 潔凈區(qū)內(nèi)的給排水管道應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的材料，同時(shí)管道不宜設(shè)置在工藝設(shè)備上方。
6.1.6 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)使用或接觸酸堿類化學(xué)品的區(qū)域，應(yīng)設(shè)置緊急淋浴洗眼器。
6.2 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)
6.2.1 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求的水溫、水壓條件進(jìn)行設(shè)置。當(dāng)水溫、水壓要求不同時(shí)宜分開設(shè)置。
6.2.2 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 水泵宜采用變頻調(diào)速控制;
2 循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用泵，供水能力不應(yīng)小于最大一臺(tái)運(yùn)行水泵的額定供水能力。
6.2.3 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置過濾器及滅菌裝置，過濾器宜備用，過濾精度應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備對(duì)水質(zhì)的要求確定。
6.2.4 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的換熱設(shè)備宜設(shè)置備用機(jī)組。
6.2.5 循環(huán)水箱的有效容積不宜小于小時(shí)循環(huán)水量的10%，且應(yīng)設(shè)置水位報(bào)警裝置和自動(dòng)及應(yīng)急補(bǔ)水系統(tǒng)。
6.2.6 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)管道的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 管道應(yīng)設(shè)置泄水閥、排氣閥和排污口;
2 工藝?yán)鋮s水管道材質(zhì)宜采用不銹鋼管、給水UPVC管或聚丙烯PP管;
3 管道附件與閥門材質(zhì)宜與管道相同;
4 采用不同金屬材料的管道和支架時(shí)，管道和支架間的隔墊應(yīng)采用絕緣材料。
6.2.7 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置水質(zhì)穩(wěn)定處理裝置。
6.3 消防給水和滅火設(shè)備
6.3.1 消防水泵及給水系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
6.3.2 廠房應(yīng)設(shè)置下列滅火系統(tǒng)：
1 室內(nèi)消火栓系統(tǒng);
2 自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng);
3 滅火器系統(tǒng)。
6.3.3 生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及潔凈區(qū)吊頂或技術(shù)夾層內(nèi)均宜設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，設(shè)計(jì)參數(shù)宜符合表6.3.3的要求。
表6.3.3 自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)表
6.3.4 潔凈室內(nèi)自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)當(dāng)采用干式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)或預(yù)作用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，管網(wǎng)容積及充水時(shí)間應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084有關(guān)規(guī)定，且系統(tǒng)計(jì)算作用面積應(yīng)放大30%。
6.3.5 在潔凈區(qū)內(nèi)各場(chǎng)所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。
6.3.6 潔凈區(qū)內(nèi)宜選用對(duì)工藝設(shè)備和潔凈區(qū)環(huán)境不產(chǎn)生污染和腐蝕作用的滅火劑。
6.3.7 潔凈區(qū)內(nèi)通道宜設(shè)置推車式二氧化碳滅火器。
7 電 氣
7.1 供 配 電
7.1.1 供電電壓應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)結(jié)構(gòu)以及工廠負(fù)荷容量確定。
7.1.2 用電負(fù)荷等級(jí)不宜低于二級(jí)，供電品質(zhì)應(yīng)滿足封裝測(cè)試工藝及設(shè)備要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定。
7.1.3 低壓配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備及動(dòng)力設(shè)備用電要求。
7.1.4 工藝設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備的配電應(yīng)分開設(shè)置。
7.1.5 配電設(shè)備上方不宜設(shè)置水管。
7.2 照 明
7.2.1 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，照度不應(yīng)低于5.0lx。疏散標(biāo)志應(yīng)設(shè)置在安全出入口、疏散通道和疏散通道轉(zhuǎn)角處。
7.2.2 潔凈區(qū)宜采用吸頂明裝式燈具，當(dāng)采用嵌入式燈具時(shí)，安裝縫隙應(yīng)采取密封措施。
7.2.3 生產(chǎn)廠房備用照明設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)計(jì)備用照明;
2 備用照明宜作為正常照明的一部分，且不宜低于該場(chǎng)所一般照明照度值的20%。
7.3 接 地
7.3.1 生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地、保護(hù)性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定。
7.3.2 生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地與其他接地分開設(shè)置時(shí)，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊措施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極宜與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。
7.3.3 生產(chǎn)廠房防雷接地設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。
7.4 防 靜 電
7.4.1 主要生產(chǎn)區(qū)應(yīng)為一級(jí)防靜電工作區(qū)。生產(chǎn)廠房防靜電接地設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50611的有關(guān)規(guī)定。
7.4.2 防靜電工作區(qū)的地面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型材料，導(dǎo)靜電型地面電阻宜為2.5×104Ω～1×106Ω。
7.4.3 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)導(dǎo)靜電地面、工作臺(tái)面、座椅等設(shè)施應(yīng)作防靜電接地。潔凈室的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌軕?yīng)與接地系統(tǒng)可靠連接。
7.4.4 防靜電接地主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支線最小截面不應(yīng)小于2.5mm2。
7.5 通信與安全保護(hù)
7.5.1 集成電路封裝測(cè)試工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)通信設(shè)施并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 廠房?jī)?nèi)電話(數(shù)據(jù)布線)應(yīng)采用綜合布線系統(tǒng)，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間綜合布線系統(tǒng)的配線間或配線柜不應(yīng)設(shè)置在工藝潔凈區(qū)內(nèi);
2 根據(jù)管理及工藝的需要應(yīng)設(shè)置數(shù)據(jù)通信局域網(wǎng)及與因特網(wǎng)連接的接入網(wǎng)。
7.5.2 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)。
7.5.3 火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)采用控制中心報(bào)警系統(tǒng)，防護(hù)對(duì)象的等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有消防值班室，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定;
2 控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定;
3 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)應(yīng)采用智能型探測(cè)器。當(dāng)在封閉房間內(nèi)使用可燃?xì)怏w及有機(jī)溶劑時(shí)，房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w探測(cè)器及火焰探測(cè)器;
4 在潔凈區(qū)空氣處理設(shè)備的新風(fēng)機(jī)出口及(或)循環(huán)風(fēng)的回風(fēng)口處宜設(shè)風(fēng)管型火災(zāi)探測(cè)器。
7.5.4 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)使用氮?dú)浠旌蠚怏w的區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體濃度監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置。
7.5.5 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置廣播系統(tǒng)，潔凈區(qū)內(nèi)的揚(yáng)聲器宜采用潔凈室型。當(dāng)廣播系統(tǒng)兼事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)時(shí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。
7.5.6 工廠內(nèi)宜設(shè)置閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)及門禁系統(tǒng)。
8 凈化空調(diào)及工藝排風(fēng)
8.1 凈化空調(diào)
8.1.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的選型應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。
8.1.2 氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。當(dāng)空氣潔凈度等級(jí)要求為6級(jí)～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流。當(dāng)空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流。
8.1.3 潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：
1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和;
2 保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。
8.1.4 潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按照工藝要求保持正壓，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間壓差不宜小于5Pa;
2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa;
3 潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa。
8.1.5 潔凈區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)采用的方式應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng)，新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻控制措施;
2 凈化空調(diào)循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)流程、潔凈度等級(jí)、溫度、相對(duì)濕度、熱負(fù)荷進(jìn)行劃分;
3 循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)宜采用干式冷卻方式;
4 采用室外空氣與循環(huán)空氣混合的空調(diào)系統(tǒng)時(shí)，宜設(shè)置二次回風(fēng)。
8.1.6 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用空氣過濾器類型和組合;
2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量;
3 空調(diào)機(jī)組的末級(jí)過濾器宜采用中效過濾器或亞高效過濾器，并應(yīng)集中安裝在空調(diào)箱的正壓段;
4 凈化空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置末端高效過濾器;
5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過濾器的阻力、效率宜相近;
6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過濾器的設(shè)計(jì)使用風(fēng)量與額定風(fēng)量的比值宜相近;
7 安裝在潔凈廠房潔凈區(qū)內(nèi)的高效空氣過濾器應(yīng)采用不燃材料制作。
8.2 冷 熱 源
8.2.1 工廠的冷熱源設(shè)置應(yīng)滿足當(dāng)?shù)貧夂?、能源結(jié)構(gòu)、技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)。
8.2.2 在需要同時(shí)供冷和供熱的工況下，冷水機(jī)組可根據(jù)負(fù)荷要求選用熱回收機(jī)組，并宜采用自動(dòng)控制方式調(diào)節(jié)機(jī)組的供熱量。
8.2.3 冷熱源設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況選擇，并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行。冷熱源設(shè)備宜設(shè)置不少于一臺(tái)的備用機(jī)組。
8.2.4 冬季或過渡季節(jié)室外溫度較低的地區(qū)，可利用冷卻塔作為冷源設(shè)備。
8.2.5 冷水機(jī)組的冷凍水供、回水溫差不應(yīng)小于5℃，在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度時(shí)，應(yīng)加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機(jī)組的出水溫度。
8.2.6 冷凍水二次泵的單臺(tái)容量選擇應(yīng)考慮全年負(fù)荷的最大值與最小值，同時(shí)冷凍水二次泵宜采用變頻控制。
8.2.7 鍋爐房排放的大氣污染物，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 13271的有關(guān)規(guī)定，以及當(dāng)?shù)卮髿馕廴疚锱欧乓蟆?/p>
8.3 工藝排風(fēng)
8.3.1 工藝排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)按照工藝設(shè)備排風(fēng)性質(zhì)設(shè)置獨(dú)立的排風(fēng)系統(tǒng)。
8.3.2 工藝排風(fēng)系統(tǒng)宜設(shè)置變頻控制系統(tǒng)。
8.3.3 工藝排風(fēng)管道穿越防火墻或樓板處應(yīng)設(shè)置防火閥。
8.3.4 工藝排風(fēng)管道應(yīng)采用不燃材料，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間腐蝕性排風(fēng)管道可采用難燃材料。
8.3.5 排煙系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。
9 純水與廢水處理
9.1 純 水
9.1.1 純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，確定純水制備系統(tǒng)規(guī)模、供水水質(zhì)。當(dāng)主體工程分期建設(shè)時(shí)，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終規(guī)模統(tǒng)一規(guī)劃、合理布局、分期實(shí)施。
9.1.2 純水制備、儲(chǔ)存和輸送設(shè)備和材料除應(yīng)滿足水量和水質(zhì)要求外，并應(yīng)光潔、平整，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。
9.1.3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的20%～50%;
2 純水回水干管末端應(yīng)設(shè)置背壓調(diào)節(jié)閥組;
3 純水管道流速選擇應(yīng)能有效防止水質(zhì)降低和微生物的滋生，并應(yīng)兼顧壓力損失。供、回水管流速不宜低于1.5m/s和0.5m/s;
4 純水輸配管路不應(yīng)出現(xiàn)死水滯留的管段;
5 純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)要求設(shè)置對(duì)應(yīng)的采樣口;
6 工藝設(shè)備二次配管，隔離閥離設(shè)備較遠(yuǎn)時(shí)，宜安裝回水管。
9.1.4 純水系統(tǒng)水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備及儀表的檢測(cè)范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求。
9.1.5 純水系統(tǒng)循環(huán)水泵宜采用變頻控制，并宜設(shè)置備用泵。
9.1.6 純水系統(tǒng)拋光回路中所需的保持流量與水質(zhì)的設(shè)備宜接入應(yīng)急電源。
9.1.7 純水系統(tǒng)廢水回收設(shè)計(jì)應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)密切配合，確定回收率。
9.2 廢水處理
9.2.1 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢水污染物種類、水量、當(dāng)?shù)貜U水排放要求等設(shè)置分類收集、處理的廢水處理系統(tǒng)。
9.2.2 腐蝕性廢水有壓管道在穿越人員密集區(qū)域時(shí)應(yīng)采用雙層管道，不宜采用法蘭連接。
9.2.3 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)易發(fā)生故障及需定期維修的部件應(yīng)按不少于一臺(tái)備用配置。輸送系統(tǒng)及提升用水泵宜采用應(yīng)急電源供電。
9.2.4 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急廢水收集池。應(yīng)急廢水收集池的容積不宜小于8h排放量并應(yīng)滿足項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)報(bào)告的要求。
9.2.5 生產(chǎn)廢水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)池，連續(xù)處理系統(tǒng)的調(diào)節(jié)池容積不宜小于4h排放量，間歇處理系統(tǒng)的調(diào)節(jié)池容積不應(yīng)小于一個(gè)處理周期的排放量。
9.2.6 廢水處理系統(tǒng)設(shè)備及構(gòu)筑物應(yīng)設(shè)置排空設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)廢水水質(zhì)采取防腐措施。
9.2.7 廢水處理系統(tǒng)化學(xué)品儲(chǔ)罐周圍應(yīng)設(shè)置圍堰。
10 氣體與真空
10.1 大宗氣體
10.1.1 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購(gòu)液態(tài)氣儲(chǔ)罐和瓶裝氣體方式。
10.1.2 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜設(shè)置氣體質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)。
10.1.3 當(dāng)氣體的純度大于99.9999%、露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，大宗氣體應(yīng)設(shè)置終端氣體純化裝置，氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點(diǎn)處。
10.1.4 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取下列技術(shù)措施：
1 管道及閥門附件內(nèi)壁處理等級(jí)應(yīng)滿足輸送氣體的品質(zhì)要求;
2 混合氣體管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器;
3 混合氣體管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施;
4 混合氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。
10.1.5 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：
1 當(dāng)氣體純度大于99.99%、露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁處理的不銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥或球閥;
2 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。
10.1.6 氣體管道連接，宜符合下列規(guī)定：
1 管道連接宜采用焊接，不銹鋼管宜采用氬弧焊;
2 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封接頭，密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊。
10.2 干燥壓縮空氣
10.2.1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝平均用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;
2 供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動(dòng)力站;
3 供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑的要求確定。
10.2.2 空氣壓縮機(jī)及冷凍式干燥裝置的布置應(yīng)保證冷卻空氣排放至室外，防止熱空氣混入冷卻空氣的入口。
10.2.3 水冷式空壓機(jī)組宜采用閉式循環(huán)水系統(tǒng)。
10.2.4 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間可采用不銹鋼管或鍍鋅鋼管，閥門宜采用球閥。
10.2.5 壓縮空氣系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 壓縮空氣主管道直徑應(yīng)按全系統(tǒng)平均用氣量確定，主支管道直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)平均用氣量確定，支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量確定;
2 干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于—40℃時(shí)，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;
3 管道連接宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊。
10.3 真 空
10.3.1 生產(chǎn)廠房工藝真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;
2 供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi);
3 工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護(hù)裝置。
10.3.2 工藝真空系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 工藝真空管路應(yīng)采用樹枝狀布置形式。
2 工藝真空主管道直徑應(yīng)按照系統(tǒng)實(shí)際抽氣量確定;主支管道直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量確定;支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量確定。
3 工藝真空系統(tǒng)管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用。真空站房?jī)?nèi)應(yīng)采用鍍鋅鋼管，站房外的室內(nèi)真空管道宜采用鍍鋅鋼管或厚壁聚氯乙烯管道。
裝測(cè)試廠工藝流程
A.0.1 通孔插裝型封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：
A.0.2 球柵陣列封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：
A.0.3 晶圓級(jí)封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：
本規(guī)范用詞說明
1 為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)區(qū)別對(duì)待，對(duì)要求嚴(yán)格程度不同的用詞說明如下：
1)表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的：
正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”;
2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：
正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”;
3)表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的：
正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”;
4)表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。
2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)符合……的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。
引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 13271
《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016
《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019
《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50052
《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073
《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116
《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472
《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50611
《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057
《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084
